Welke voorzorgsmaatregelen moeten worden genomen tijdens de doelinstallatie, zoals uitgelegd door ZhenAn?

Oct 13, 2025

Laat een bericht achter

ZhenAn 4N Tantalum Ta Pure Metal Target Big Size Tantalum Sputtering Target Materials

Welke voorzorgsmaatregelen moeten worden genomen tijdens de doelinstallatie, zoals uitgelegd door ZhenAn?

 

De belangrijkste voorzorgsmaatregel tijdens de installatie van het doel is het zorgen voor een goede thermische verbinding tussen het doel en de koelbalk van het sputterpistool.

 

Ernstig kromtrekken van de koelstaaf of steunplaat kan ervoor zorgen dat het doel tijdens de installatie barst of buigt. Dit kan de thermische geleidbaarheid van de steunplaat naar het doel aanzienlijk beïnvloeden, waardoor warmteafvoer tijdens het sputteren wordt voorkomen en er uiteindelijk voor kan zorgen dat het doel barst of ontspoort.

één-oplossing

professioneel team

hoge kwaliteit

 

Om voldoende thermische geleidbaarheid te garanderen, kan een laag grafietpapier tussen de kathodekoelbalk en het doel worden geplaatst. Inspecteer en verifieer zorgvuldig de vlakheid van de koelbalk van het sputterpistool en zorg ervoor dat de afdichtring altijd op zijn plaats zit.

 

Vanwege de zuiverheid van het gebruikte koelwater en het vuil dat kan ontstaan ​​tijdens de werking van de apparatuur en dat zich afzet in de kathodekoelwatertank, moet de kathodekoelwatertank worden geïnspecteerd en gereinigd bij het installeren van het doelmateriaal om een ​​soepele circulatie van het koelwater te garanderen en dat de inlaat en uitlaat niet worden geblokkeerd.

 

Sommige kathodeontwerpen hebben een kleine opening met de anode, dus bij het installeren van het doelmateriaal moet ervoor worden gezorgd dat er geen contact is tussen de kathode en de anode en geen geleider, anders zal er kortsluiting optreden.

 

Bezoekhttps://www.zhenanmetal.comvoor meer informatie over het product. Als u meer wilt weten over de productprijs of geïnteresseerd bent in aankoop, kunt u een e-mail sturen naar info@zaferroalloy.com. Wij nemen contact met u op zodra wij uw bericht zien.

Ontvang vandaag nog een offerte